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2026-04

星期 五

广州磁控溅射实验室 广东省科学院半导体研究所供应

设计非金属薄膜磁控溅射方案时,需充分考虑材料特性、设备性能和应用需求。非金属薄膜通常包括绝缘体和半导体材料,其溅射过程中对靶材纯度、溅射气体种类及压力、基板温度等参数的控制尤为重要。一个科学合理的溅射方案能够有效提升薄膜的均匀性、

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2026-04

星期 五

广州射频磁控溅射特点 广东省科学院半导体研究所供应

广东省科学院半导体研究所在高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)技术的国产化应用中取得突破。其开发的HiPIMS系统峰值功率密度达到10⁷W/m²,使金属靶材的离化率提升至70%以上,制备的(Cr,Al)N涂层硬度较传统直流磁控溅射提

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2026-04

星期 五

广州真空磁控溅射设备 广东省科学院半导体研究所供应

广东省科学院半导体研究所在磁控溅射技术的极性调控领域取得突破,其开发的双向脉冲双靶闭合式非平衡磁控溅射系统独具特色。该系统将两个磁控靶连接于同一脉冲电源,通过周期性变换靶材极性,使两靶交替充当阴极与阳极——阴极靶执行溅射沉积的同时

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2026-04

星期 四

广州单靶磁控溅射流程 广东省科学院半导体研究所供应

金属磁控溅射系统是一种通过高能粒子撞击高纯度金属靶材,将靶材原子溅射出来并沉积于样品表面的技术。该系统在科研院校中扮演着关键角色,尤其是在微电子、半导体、材料科学及光电领域的研究中。科研团队利用此系统能够制备出均匀且高质量的金属薄

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2026-04

星期 四

广州专业磁控溅射分类 广东省科学院半导体研究所供应

磁控溅射定制服务针对用户不同的材料需求和工艺目标,提供个性化的溅射解决方案。定制过程中,首先需详细了解客户的材料特性、器件结构及应用环境,结合磁控溅射的物理原理,设计符合特定需求的溅射条件。定制不*涉及靶材的选择,还包括溅射参数的

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