服务电话：
新闻中心
您当前的位置：首页 > 新闻中心
-
22
2026-04
星期 三
-
广州磁控溅射流程 广东省科学院半导体研究所供应
膜层厚度在磁控溅射加工中是一个关键参数，直接影响材料的性能表现和应用效果。膜层较厚时，溅射过程中对基板的热负荷和应力积累会有明显影响，这就需要对工艺参数进行精细调整。磁控溅射通过高能粒子撞击靶材，溅射出的原子在真空环境中迁移并沉积
-
22
2026-04
星期 三
-
广州金属磁控溅射价格 广东省科学院半导体研究所供应
针对磁控溅射镀层均一性的行业痛点，研究所开发了在线监测与智能调控一体化技术。该技术在溅射生产线中集成双测厚单元与智能控制器，基膜经磁控溅射单元后，由测厚件实时采集厚度数据，控制器根据预设公式d＝pnk/s进行参数运算。当检测到长度
-
22
2026-04
星期 三
-
广州单靶磁控溅射流程 广东省科学院半导体研究所供应
该研究所将磁控溅射与高压脉冲偏压技术复合，构建了高性能薄膜制备新体系。利用高能冲击磁控溅射产生的高离化率等离子体，结合高压偏压带来的淹没性轰击效应，实现了对成膜过程中荷能粒子行为的精细调控。通过开发全新的粒子能量与成膜过程反馈控制
-
22
2026-04
星期 三
-
广州磁控溅射实验室 广东省科学院半导体研究所供应
化合物材料磁控溅射工艺是一种利用高能粒子轰击高纯度靶材，经过复杂的粒子散射和靶原子级联碰撞过程，将靶材原子溅射出来并沉积在样品表面的先进工艺。此工艺特别适合制备AlN、ITO、SiN、ZnO、IGZO等功能性化合物薄膜，广泛应用于
-
22
2026-04
星期 三
-
广州高温磁控溅射步骤 广东省科学院半导体研究所供应
金属薄膜磁控溅射咨询服务旨在为科研机构和企业提供专业的技术方案和工艺指导，帮助用户解决在薄膜制备过程中遇到的各类技术难题。咨询内容涵盖靶材选择、溅射参数设定、设备配置建议以及后续薄膜性能评估。磁控溅射的工艺设计需要考虑靶材的物理性
推荐资讯