新闻中心
您当前的位置:首页 > 新闻中心
-
14
2026-05
星期 四
-
广州双靶磁控溅射仪器 广东省科学院半导体研究所供应
广东省科学院半导体研究所在反应磁控溅射领域的工艺优化成果,尤其在化合物薄膜制备中形成技术特色。针对传统反应溅射中靶材“中毒”导致的沉积速率骤降问题,团队采用脉冲磁控溅射技术,通过优化脉冲频率与占空比,平衡了靶材溅射与表面反应速率。
-
13
2026-05
星期 三
-
广州多层磁控溅射特点 广东省科学院半导体研究所供应
化合物材料磁控溅射技术基于物理溅射原理,利用高能粒子撞击靶材产生的溅射原子,在真空环境中沉积形成薄膜。此技术在制备AlN、ITO、SiN等化合物材料时,展现出优良的成膜均匀性和材料稳定性,适用于微纳电子器件和光电元件的研发。科研团
-
13
2026-05
星期 三
-
广州平衡磁控溅射用处 广东省科学院半导体研究所供应
磁控溅射咨询服务旨在为用户提供专业的技术建议和解决方案,帮助其理解和应用磁控溅射技术。咨询内容涵盖磁控溅射的基本原理、设备选型、工艺参数设计及膜层性能评估,针对不同的研究和生产需求,提供科学合理的建议。咨询过程中,技术人员结合用户
-
13
2026-05
星期 三
-
广州专业磁控溅射方案 广东省科学院半导体研究所供应
高能脉冲磁控溅射技术的研发与应用是该研究所的重点方向之一。其开发的技术通过高脉冲峰值功率与低占空比的协同调控,实现了溅射金属离化率的提升,并创新性地将脉冲电源与等离子体淹没离子注入沉积方法结合,形成新型成膜质量调控技术。该技术填补
-
13
2026-05
星期 三
-
广州压电半导体器件加工价格 广东省科学院半导体研究所供应
半导体器件的加工过程不*要求高度的安全性,还需要精细的工艺控制,以确保器件的性能和质量。图形化技术,特别是光刻工艺,是半导体技术得以迅猛发展的重要推力之一。光刻技术让人们得以在微纳尺寸上通过光刻胶呈现任何图形,并与其它工艺技术结合

