服务电话：
新闻中心
您当前的位置：首页 > 新闻中心
-
04
2026-06
星期 四
-
广州单靶磁控溅射流程 广东省科学院半导体研究所供应
金属磁控溅射系统是一种通过高能粒子撞击高纯度金属靶材，将靶材原子溅射出来并沉积于样品表面的技术。该系统在科研院校中扮演着关键角色，尤其是在微电子、半导体、材料科学及光电领域的研究中。科研团队利用此系统能够制备出均匀且高质量的金属薄
-
04
2026-06
星期 四
-
广州半导体器件加工供应商 广东省科学院半导体研究所供应
集成电路半导体器件加工服务涵盖了从晶圆基底处理到器件封装的全过程，涉及多个复杂且精细的工序。随着应用领域的多样化，客户对加工服务的需求也呈现出多样化和个性化的趋势。加工服务不*要求工艺的稳定性，还需满足不同尺寸、不同材料的加工需求
-
04
2026-06
星期 四
-
广州专业磁控溅射优点 广东省科学院半导体研究所供应
该研究所将磁控溅射技术与半导体器件封装工艺深度融合，开发了高性能金属化薄膜制备方案。针对MEMS器件的微型化需求，采用射频磁控溅射技术在硅基衬底上沉积Ti/Au复合金属层，通过控制靶基距与基片温度，使金属膜层厚度精度达到±2nm。
-
04
2026-06
星期 四
-
广州新型半导体器件加工平台 广东省科学院半导体研究所供应
叉指电极结构在半导体器件中应用较多，针对其加工的技术咨询需求日益增加。有效的咨询服务需要深入理解客户的设计要求和应用背景，结合材料特性和工艺限制，提供合理的工艺路线建议。咨询内容通常涵盖光刻参数选择、刻蚀工艺优化、薄膜沉积技术及后
-
03
2026-06
星期 三
-
广州双靶磁控溅射仪器 广东省科学院半导体研究所供应
磁控反应溅射集中了磁控溅射和反应溅射的优点，可以制备各种介质膜和金属膜，而且膜层结构和成分易控。此法引入了正交电磁场，使气体分子离化率从阴极溅射的0.3%~0.5%提高到5%~6%，溅射速率比阴极溅射提高10倍左右。由于目前被普遍
推荐资讯