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2026-06
星期 三
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广州专业磁控溅射 广东省科学院半导体研究所供应
广东省科学院半导体研究所在高功率脉冲磁控溅射（HiPIMS）技术的国产化应用中取得突破。其开发的HiPIMS系统峰值功率密度达到10⁷W/m²，使金属靶材的离化率提升至70%以上，制备的（Cr,Al）N涂层硬度较传统直流磁控溅射提
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2026-06
星期 二
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广州平衡磁控溅射处理 广东省科学院半导体研究所供应
该研究所针对磁控溅射的薄膜应力调控难题，提出了多参数协同优化策略。通过调节磁控溅射的基片偏压与沉积温度，实现薄膜内应力从拉应力向压应力的连续可调——当基片偏压从0V增至-200V时，TiN薄膜的压应力从1GPa提升至5GPa；而适
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2026-06
星期 二
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广州磁控溅射实验室 广东省科学院半导体研究所供应
磁控溅射是一种常用的薄膜沉积技术，其工艺参数对沉积薄膜的影响主要包括以下几个方面：1.溅射功率：溅射功率是指磁控溅射过程中靶材表面被轰击的能量大小，它直接影响到薄膜的沉积速率和质量。通常情况下，溅射功率越大，沉积速率越快，但同时也
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2026-06
星期 二
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广州真空磁控溅射步骤 广东省科学院半导体研究所供应
金属薄膜磁控溅射技术能够实现多种金属及化合物材料的均匀薄膜沉积，广泛应用于半导体、光电器件和微纳加工领域。磁控溅射技术的优势体现在其对薄膜厚度和成分的精细控制，以及对基板加热温度的灵活调节。广东省科学院半导体研究所引进的KurtP
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2026-06
星期 二
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广州双靶磁控溅射仪器 广东省科学院半导体研究所供应
针对不同科研和产业需求，金属薄膜磁控溅射推荐主要聚焦于设备选型、工艺路线和材料体系的合理搭配。选择合适的磁控溅射设备和参数组合，是保证薄膜质量和工艺稳定性的基础。推荐过程中需综合考虑溅射靶材种类、基板尺寸、加热温度范围以及电源配置
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