
该奈米银粒子与该微米银粒子的重量比为9:1~1:1,而该非接触式探针点胶设备包含一组传感器,是由重量感测组件、电容及电阻建构而成的自动回馈控制系统;步骤二:将涂布于该散热基板上的银基奈米浆料进行加温,并持温一段时间;步骤三:将一集成电路芯片放置于该散热基板的银基奈米浆料上方,形成一组合对象;以及步骤四:利用一热压机对该组合对象进行加压与加热的热压接合制程,烧结该银基奈米浆料,以形成该ic芯片与该散热基板的热接口材料层,其中该热压机的加压压力为1~10mpa,加热到210~300℃,并维持上述压力与温度30~120分钟后冷却至室温。于本发明上述实施例中,该散热基板的材质为银、铜、金、或镍之合金,或是材质为陶瓷、或氧化硅的基板上具有银、金、镍、钛的合金或氮化物镀层。于本发明上述实施例中,该步骤一亦可以网版印刷、或刮刀涂布方式将该银基奈米浆料涂布在该散热基板上。于本发明上述实施例中,该银基金属粒子是以化学合成法合成两种以上粒径的银粒子并混合。于本发明上述实施例中,该有机酸为庚酸或丙酸。于本发明上述实施例中,该有机银离子化合物为银前驱物,主要含有长碳链脂肪酸的官能基与银离子。于本发明上述实施例中。
该有机银离子化合物为2-乙基己酸银(silver2-ethylhexanoate)。于本发明上述实施例中,该有机添加物为乙基纤维素或甘油。于本发明上述实施例中,该一溶剂为松油醇(α-terpineol)。于本发明上述实施例中,该银基奈米浆料更包含1-3份第二溶剂,主要为在0~25℃仍为液态的三级醇类与各级酮醇类的有机溶剂。于本发明上述实施例中,该第二溶剂为醇(1-hydroxybutanone或acetol)、二醇(4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone或diacetonealcohol)、2-甲基-2-丁醇(2-methyl-2-butanol)、或2-丙醇(2-propanol)。于本发明上述实施例中,该非接触式探针点胶设备更包含一容器,可容纳该银基奈米浆料;一制动装置,设于该容器之一侧,用以作为推压的动力源;一推进活塞,设于该容器上并与该制动装置电性连接,其一端为活塞头,另一端为连杆,受该制动装置驱动而产生上、下运动;以及一探针,设于该容器底端,当该探针前端的银基奈米浆料碰触到该散热基板的瞬间,该组传感器量测电容(电阻)即会改变,此时设备可自动停止下针,完成浆料涂布。于本发明上述实施例中,该步骤二是将涂布于该散热基板上的银基奈米浆料加温至55~85℃,持温5~10分钟。于本发明上述实施例中,该步骤四热压接合制程后。
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