所述第二垂直晶体管包括：电耦合到所述阳极的第二源极区域、垂直延伸到所述衬底中并且电耦合到所述阳极的第二栅极、电耦合到所述阴极的第二漏极区域、位于所述第二源极区域和所述第二漏极区域之间的第二沟道区域、以及在所述衬底中延伸并且位于所述第二栅极和所述第二沟道区域之间的第二栅极电介质。在一些实施例中，所述二极管包括：传导层，覆盖所述衬底以及所述一垂直晶体管和所述第二垂直晶体管；以及接触区域，形成在所述衬底中并且将所述一沟道区域和所述第二沟道区域电连接到所述传导层。因此，一个实施例提供了一种结构，该结构在衬底的沟槽中包括：一传导区域，其与衬底分离一距离，一距离短于约10nm；以及第二传导区域，其比一区域更深地延伸。根据一个实施例，第二区域与衬底分离第二距离，第二距离大于一距离。根据一个实施例，一区域通过一电介质层与衬底分离，并且第二区域通过第二电介质层与衬底分离。根据一个实施例，该衬底是半导体。根据一个实施例，该结构包括覆盖衬底和沟槽的传导层部分，所述部分电连接到衬底以及一区域和第二区域。根据一个实施例，所述部分与衬底接触或者与衬底分离小于300nm。
此外，单个沟槽可以被提供有例如至少在一侧上的晶体管。此外，在所描述的实施例中，晶体管的n和p传导类型、n和p沟道类型以及二极管的阴极和阳极可以同时反转。上文已描述了具有各种变型的各种实施例。应当注意，本领域技术人员可以将这些各种实施例和变型的各种元件进行组合。后，基于上文给出的功能指示，所描述的实施例的实际实现在本领域技术人员的能力范围内。根据以上详细描述，可以对实施例进行这些和其他改变。通常，在所附权利要求中，所使用的术语不应被解释为将权利要求限制于说明书和权利要求中公开的特定实施例，而是应被解释为包括权利要求所要求保护的所有可能的实施例以及这样的等同物的全部范围。因此，权利要求不受本公开的限制。
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