
该ic芯片与该散热基板的热接口材料层90%以上成分为银,孔隙率小于25%,且厚度为1~15μm。藉此,本发明具有下列功效:1.本发明使用的热接口材料将不会产生任何介金属化合物,故不会因制程(环境)温度而脆化,且在高温下(<800℃)相当稳定。2.本发明使用的热接口材料在完成热处理后含少量有机物(<1%),且99%以上为纯银,故长时间使用下将无有机挥发物(volatileorganiccompounds,voc)产生。3.本发明所使用的热接口材料为纯银,以高纯度银做异质界面接合用材料,其导热系数为锡银铜合金(无铅焊锡)的两倍以上,如表1所示。表1本发明与现有锡银铜合金焊料的比较锡银铜焊料本发明导电率(mω-cm)~(w/m-k)60>2004.本发明不含铅、镉、卤素等毒性物质。5.目前高功率模块的工作温度已上升至150℃,次世代高功率模块的工作温度将上升至200℃,则本发明所使用的热接口材料为纯银,将可取代无铅焊锡的锡银铜合金与传统焊锡的铅锡与银铅锡合金。6.本发明奈米银粒子与微米银粒子的比例为9:1~1:1,且因主要组成银粒子的尺寸为100nm以下的奈米银粒子,故所使用的热处理温度低于250℃,可避免电子组件在封装制程中受到高温而破坏。7.本发明采用全新非接触式探针点胶技术。
本发明实施例还提供了一种半导体功率模块,如图15所示,半导体功率模块50配置有上述igbt芯片51,还包括驱动集成块52和检测电阻40。具体地,如图16所示,igbt芯片51设置在dcb板60上,驱动集成块52的out端口通过模块引线端子521与igbt芯片51中公共栅极单元100连接,以便于驱动工作区域10和电流检测区域20工作;si端口通过模块引线端子521与检测电阻40连接,用于获取检测电阻40上的电压;以及,gnd端口通过模块引线端子521与电流检测区域的一发射极单元101引出的导线522连接,检测电阻40的另一端还分别与电流检测区域的第二发射极单元201和接地区域连接,从而通过si端口获取检测电阻40上的测量电压,并根据该测量电压检测工作区域的工作电流。本发明实施例提供的半导体功率模块,设置有igbt芯片,其中,igbt芯片上设置有:工作区域、电流检测区域和接地区域;其中,igbt芯片还包括一表面和第二表面,且,一表面和第二表面相对设置;一表面上设置有工作区域和电流检测区域的公共栅极单元,以及,工作区域的一发射极单元、电流检测区域的第二发射极单元和第三发射极单元,其中,第三发射极单元与一发射极单元连接。
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