前段时间，公司的5973抽不上真空，经过和安捷伦工程师沟通，怀疑很有可能还是分子涡轮泵上的堵头漏气（之前修过一次，就是把塑料堵头拧紧）。他们工程师上门前让我们自己找爱德华公司买个铝制的堵头，一问要一千四百多，太贵了！没什么技术含量的东西也这么贵，唉，谁叫别人垄断呢！怒！
经过仔细考虑，决定先把堵头拆下来，看看我们公司机械加工部门能否给加工一个。不过，拆堵头就要先拆分子分子涡轮泵，而拆这“宝贝”差不多把5793都给肢解了。
还好，不算复杂，就是要细心。另外，告诉大家一个好消息，这个堵头被我们公司的师傅成功的复制了尼龙的，安上后效果不错，真空上去了。运行了5天，没发现问题。给公司省了1千四（应该嘉奖）
下面我用照片和大家分享一下拆的过程。
断开质谱和气相一条连线
按图示取出电气模块的挡板
断开真空室侧板的5处连线
拧开电器模块的固定螺母
向前平拉出电器模块（后面的电线全部断开）
电器模块拆除后的样子
现在拆除真空室侧板（贵重配件，一定要小心）。打开到大概70度的样子，双手拿稳，向上慢慢举起
侧板拆除后的样子
现在拆真空室和分子涡轮泵。我是两者一起拆，安捷伦工程师是分开拆。我认为一起拆较好，因为能少动一个部件就少动。拧掉固定真空室的六个螺母
取出后部涡轮泵电器控制模块。先向左转一点，再向后拉。（右边两个卡位，左前有一个卡位）
拆除分子涡轮泵的插头和真空管路。拆插头时注意：用手摸到插头后部，会有个手柄，小心逆时针旋转，插头自己就掉出来了。
好了，现在就要找个有力气的，双手拿住真空室向上提出（小心真空室后部的真空硅管，别搞破了）真空室和分子涡轮泵。拆解完毕。
安装回去的过程向反。不过要注意几点。首先是电器控制模块有个卡位，安回去时要卡到位。
其次，后部的电线要记住插哪里，不要插错了。这是全部插完后的样子。
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